ULVAC爱发科回转式多晶振传感器CRTS-M6 参数介绍

ULVAC爱发科回转式多晶振传感器CRTS-M6 参数介绍

CRTS-M6是爱发科(ULVAC)为CRTM系列水晶振荡式成膜控制器开发的一款回转式多传感器。其回转式水晶夹具可搭载6枚水晶片，并采用高可靠性的真空电机驱动系统。

项目	规格参数
传感器头部
搭载水晶片数	6枚
兼容水晶片	4MHz、5MHz 或 6MHz (可选) AT切割水晶片
耐热温度	*高 350°C
冷却水流量	1 升/分钟
重量	1 公斤
尺寸 (直径 x 高度)	Φ50mm x 约 89mm
控制器 (MC-03)
数字输入信号	INIT, CNT, STOP
数字输出信号	Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
电源	DC 24V, 3.0A
尺寸 (宽 x 深 x 高)	100mm x 252mm x 99mm
其他规格
内部电缆长度 (真空内)	可选 0.9m, 1.5m, 3.0m
传感器头材质	SUS304