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原装现货ULVAC爱发科气动真空角阀 VLP-SA025JH参数概览

原装现货ULVAC爱发科气动真空角阀 VLP-SA025JH参数概览

VLP-SA025JH 是爱发科 (ULVAC) 旗下一款高性能的双动式气动真空角阀,属于其VLP系列。该产品以其不锈钢材质、可烘烤至150°C的特性以及极高的密封性为主要特点

 详细规格参数

规格详情 备注
VLP-SA
双动式气缸 (Double-acting cylinder) 通过压缩空气控制开启和关闭
0.10 MPa (正压/反压) 指阀门关闭时,阀板两侧能承受的*大压力差
0.10 MPa (正压/反压) -
≤ 1.0×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 超高真空级密封性能
≤ 1.0×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 超高真空级密封性能
大气压 ~ 1.0×10⁻⁵ Pa (绝压) 覆盖从粗真空到高真空的广泛范围
阀体:150°C
驱动部:70°C (指示器:60°C)
烘烤时禁止开关阀门
5 ~ 70°C -
≤ 30 °C/h -
必须为非腐蚀性 -
0.40 ~ 0.60 MPaG -
100,000 次 -
无限制 可任意方向安装
可选配件 (需另购) 用于远程监控阀门开关状态
真空侧:不锈钢304
大气侧:不锈钢304、铝6061(阳极氧化)
-
FKM (氟橡胶) -
氟素润滑脂 -
符合 -

主要特点

  • 优异的耐热性:阀体采用SUS304不锈钢制造,允许在关闭状态下烘烤至150°C,这对于需要去除腔体残留水汽的真空工艺至关重要

  • 灵活的接口选择:提供4种标准法兰接口可选,包括JIS-VF、ISO-KF、ISO-K和ISO-CF,能适应不同的真空系统连接需求

  • 高可靠性:设计保证操作循环次数高达10万次,确保了长期稳定的运行

 主要应用场景

基于其不锈钢材质、高真空兼容性及可烘烤特性,该阀门适用于对清洁度和真空度有较高要求的场合,例如:

  • 半导体FPD(平板显示器) 制造设备

  • 光伏(太阳能电池) 生产设备

  • 真空镀膜设备

  • 各类高真空及超高真空实验与研究系统


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