原装现货ULVAC爱发科气动真空角阀 VLP-SA025JH参数概览
VLP-SA025JH 是爱发科 (ULVAC) 旗下一款高性能的双动式气动真空角阀,属于其VLP系列。该产品以其不锈钢材质、可烘烤至150°C的特性以及极高的密封性为主要特点。
详细规格参数
主要特点
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优异的耐热性:阀体采用SUS304不锈钢制造,允许在关闭状态下烘烤至150°C,这对于需要去除腔体残留水汽的真空工艺至关重要。
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灵活的接口选择:提供4种标准法兰接口可选,包括JIS-VF、ISO-KF、ISO-K和ISO-CF,能适应不同的真空系统连接需求。
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高可靠性:设计保证操作循环次数高达10万次,确保了长期稳定的运行。
主要应用场景
基于其不锈钢材质、高真空兼容性及可烘烤特性,该阀门适用于对清洁度和真空度有较高要求的场合,例如:
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半导体、FPD(平板显示器) 制造设备
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光伏(太阳能电池) 生产设备
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真空镀膜设备
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各类高真空及超高真空实验与研究系统