ULVAC爱发科回转式多晶振传感器CRTS-M6维护
ULVAC爱发科回转式多晶振传感器CRTS-M6维护
ULVAC爱发科回转式多晶振传感器CRTS-M6维护
CRTS-M6 真空内置步进电机回转式 6 通道晶振传感探头，UFC070 法兰安装，可装载 6 片 Φ12.4mm 石英晶振。晶振沉积饱和、振荡异常时，由 CRTM 控制器自动执行旋转切换，无需破真空开腔更换晶片，适合光学镀膜、OLED 有机蒸镀、半导体薄膜连续量产。
水晶片更换（维护）
更换步骤
切断电源：关闭CRTM和多传感器控制器的电源
取下盖帽：逆时针旋转取下传感器头部的盖帽
取出夹具组件：旋转水晶夹具中央的固定旋钮，取出水晶夹具组件（注意：勿将固定旋钮从夹具组件上拆下）
分离绝缘板：卸下水晶夹具组件背面的绝缘板固定螺丝（M2沉头螺丝×3处），取下绝缘板（白色）
注意：请勿弯曲绝缘板上安装的弹簧电极
放置绝缘板时，请勿将弹簧电极一侧朝下
取出旧水晶片：取出已使用的水晶片
清洁：用酒精清洁水晶夹具的水晶片安装部位。若产品材料附着在夹具表面，可能无法保持与盖帽的间隙
安装新水晶片：将新水晶片装入夹具
重新组装：按相反顺序装回绝缘板并紧固螺丝