池田屋ULVAC爱发科卷流式干式真空泵DIS-252参数介绍
池田屋ULVAC爱发科卷流式干式真空泵DIS-252参数介绍
池田屋ULVAC爱发科卷流式干式真空泵DIS-252参数介绍
DIS-252 为 ULVAC DIS 系列二级双绕涡旋干式真空泵（行业俗称卷流式干泵），采用1 动涡盘 + 2 定涡盘二级压缩结构，全程无油润滑、无油雾返流，极限真空与抽气量远高于 DIS-90，适配半导体、光学检测、小型真空镀膜、氦检设备前级真空供给。
真空性能核心参数
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参数项目
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50Hz
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60Hz
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设计抽速
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250 L/min
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300 L/min
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实际有效抽速
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200 L/min
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240 L/min
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极限**真空
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≤1.6 Pa（全频率通用）
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≤1.6 Pa
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允许初始进气压力
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常压（可直接大气压启动）
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常压
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标准漏气率
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≤1.0×10⁻¹ Pa·m³/s
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≤1.0×10⁻¹ Pa·m³/s
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水汽处理量（开启 Air Flush 吹扫）
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≤25g / 天
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≤25g / 天
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应用场景
半导体、光学检测（主力场景）
大尺寸晶圆 / 光学膜真空吸附载台、AR/AF 镀膜小型真空腔体、氦质谱检漏仪前级泵，全域 Mapping 扫描稳定负压供给。
显示、车载光电行业
Mini/Micro LED 基板、车载盖板玻璃、VR 波导片真空固定，搭配 CCS 环形同轴光源全自动外观检测。 实验室精密分析设备 偏光显微镜、分光光谱仪、薄膜应力测试设备试样真空吸附，纳米材料、高分子薄膜研发测试。
小型真空镀膜、锂电新材料
实验型涂布腔体、锂电隔膜试样真空固定，微量溶剂、水汽工况稳定抽气。
精密电子组装
大尺寸镜头模组、PCB 整板真空吸嘴搬运、大面积零件真空定位负压源。