池田屋ULVAC爱发科二级双绕涡旋干式真空泵DIS-90参数介绍
池田屋ULVAC爱发科二级双绕涡旋干式真空泵DIS-90参数介绍
DIS-90 为双绕二级涡旋干式无油真空泵，ULVAC 机工 DIS 系列主力机型；采用 1 动涡旋 + 2 定涡旋二级压缩结构，全程无润滑油、无油雾析出，适配无尘光学、半导体检测设备负压供给。
真空性能核心参数
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参数项目
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单位
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50Hz
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60Hz
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设计标称抽速
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L/min
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90
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108
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实际有效抽速
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L/min
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72
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86
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极限真空
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Pa
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5
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5
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等效表压负压
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kPa
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-99.995
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-99.995
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压缩结构
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二级双绕涡旋压缩
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统一标准
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统一标准
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空气冲洗接口
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Rc1/8 螺纹
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标配内置
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标配内置
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日均水汽耐受量
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g / 天
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≤5（AF 开启，25℃/60% RH）
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≤5（AF 开启，25℃/60% RH）
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噪音与环境适配条件
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噪音（1 米测点）
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空气冲洗 AF 关闭：≤52dB (A)
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空气冲洗 AF 开启：≤57dB (A)，低振动不干扰光谱、相位差仪测量
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工作环境
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环境温度：5℃～40℃
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允许湿度：≤60% RH，无凝露、无粉尘直吸（必须配 SGT-100 过滤器）
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洁净等级：适配 Class100 / 千级无尘车间，无油气污染晶圆、光学薄膜
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连续运行：支持 24 小时无人值守长时间运转