池田屋ULVAC爱发科滚管式干式真空泵DIS-90参数介绍
池田屋ULVAC爱发科滚管式干式真空泵DIS-90参数介绍
DIS-90 是 ULVAC 爱发科涡旋式无油干式真空泵，池田理化原装配套半导体、光学检测、小型镀膜、检漏设备使用。纯干式无油涡旋结构，无油气污染样品；极限真空 5Pa，抽气量远高于 DA-30D 隔膜泵，自带空气冲洗、运行计时表。
真空性能核心参数
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参数项目
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50Hz
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60Hz
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设计抽速
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90 L/min
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108 L/min
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实际有效抽速
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72 L/min
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86 L/min
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极限真空
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5 Pa
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5 Pa
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负压表压
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-99.995 kPa
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-99.995 kPa
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内置功能
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Air Flush 空气冲洗（抑制水汽凝结）、运行小时计
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环境使用条件
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工作环境温度：5℃～40℃
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允许水汽负荷：≤5g/h（开启空气冲洗可大幅提升耐水汽能力）
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连续运行：支持 24 小时无人值守产线运转
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洁净适配：全程无润滑油、无油雾挥发，不会污染晶圆、光学薄膜、镀膜基板