池田屋ULVAC爱发科二段式隔膜干式真空泵DA-30D参数介绍
池田屋ULVAC爱发科二段式隔膜干式真空泵DA-30D参数介绍
DA-30D 是日本 ULVAC 爱发科二段隔膜干式无油真空泵，池田理化原装配套无尘光学检测、半导体膜厚 / 相位差检测设备使用。全程无油隔膜结构，不会产生油雾、油污污染晶圆、光学薄膜。
真空抽气核心性能
|
参数项目
|
50Hz
|
60Hz
|
|
有效抽速
|
30 L/min
|
36 L/min
|
|
极限真空
|
6.7 kPa
|
6.7 kPa
|
|
表压负压
|
-94.6 kPa
|
-94.6 kPa
|
|
排气结构
|
二段隔膜排气，真空度优于单段泵
|
|
|
启动条件
|
可直接从常压启动，无需预抽
|
|
电气电机参数
|
电气项
|
标准规格
|
|
电机输出功率
|
200W
|
|
标准电源（日规）
|
单相 AC100V 50/60Hz；海外 220V 版本可选
|
|
内置保护
|
自动复位型热保护器，过热停机降温后自动恢复，动作温度 150℃
|
|
运行噪音
|
≤54dB (A)（1 米距离），低振动不干扰光谱、相位差测量数据
|
环境使用条件
-
工作环境温度：7℃～40℃
-
连续运行：支持 24 小时不间断产线运转
-
洁净适配：无油无油气污染，兼容百级无尘车间，搭配 Kotohira 琴平集尘器、CCS 视觉光源整套工作站