池田屋KOHZU神津精机Z轴精密升降滑台ZA07A-X103参数介绍
池田屋KOHZU神津精机Z轴精密升降滑台ZA07A-X103参数介绍
ZA07A-X103 为电动 Z 轴升降滑台，采用十字交叉滚柱导轨 + 精密研磨丝杠传动，电机侧置立式安装，主打大行程 ±10mm 垂直对焦定位，适配 70mm 大尺寸样品、光学膜、晶圆全域 Z 向扫描。
机械规格参数
|
参数项目
|
标准技术指标
|
|
台面尺寸
|
70mm × 70mm，M3/M4 多规格安装螺纹孔
|
|
有效 Z 向行程
|
±10mm，总升降行程 20mm（ZA 系列长行程主力型号）
|
|
导轨结构
|
高刚性精密交叉滚柱导轨
|
|
传动机构
|
研磨滚珠丝杠，导程 0.5mm
|
|
整机材质
|
铝合金本体，洁净哑光镀镍低释气处理
|
|
整机自重
|
1.4kg
|
|
水平容许负载
|
49N（5kgf）
|
|
安装形式
|
立式垂直安装，可堆叠 SXA 系列 XY 滑台组成 XYZ 三轴平台
|
|
电机轴径
|
Φ5mm，可加装 A 型手动微调手柄
|
应用场景
半导体晶圆检测（核心场景）
6–8 寸晶圆膜厚 Mapping 分层扫描、Mini/Micro LED 背光像素缺陷 Z 向分层观测、芯片金相显微深度剖析，配套 ULVAC 干式真空泵真空吸附载台使用。
精密显示、光学薄膜行业
LCD/OLED 补偿膜、AR/AF 光学镀膜、VR 波导片全域厚度、应力均匀性检测；镜头耦合、光纤光路焦距自动微调，搭配 SEKONIC 光谱仪同步标定光源。
车载光电、3C 玻璃质检
车载盖板玻璃、手机镜头镜片、AR 镀膜基板多层外观 + 光学性能一体化检测，搭配 CCS HPR2/LDR 系列环形视觉光源自动对焦成像。
高校材料实验室
偏光显微镜、激光干涉仪、光谱仪自动载物升降台，高分子薄膜、纳米材料微观形貌多层观测、厚度梯度测试。