MIYUKI美幸辉气动直式真空闸SE-N50 型参数介绍

    MIYUKI（美幸辉）SE-N50 是一款气动驱动的直通式真空阀，属于 SE 系列。与同系列的 SE-N25 和 SE-N40 相比，SE-N50 的口径更大，导通能力更强，适合对抽气速率有更高要求的应用场景。

核心参数

核心特点

• 轻量紧凑：本体采用A5056铝合金，且执行器无突出部分，节省安装空间。

• 高密封性：作为直型阀（截止阀），其阀瓣与阀座接触面积大，密封性能优良。

• 高导通能力：在50A口径下导通能力达84 L/s，排气性能良好。

应用领域

• 半导体制造：如刻蚀、沉积等工艺。

• 真空镀膜：如光学镀膜、PVD等。

• 科研实验：各类高真空实验装置。