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MIYUKI美幸辉紧凑型气动直通真空闸SE-N40介绍

 MIYUKI美幸辉 紧凑型气动直通真空闸SE-N40 介绍
    SE-N40 属于 SE 系列直通式气动真空阀,采用 NW40(KF40)ISO-KF 快拆法兰,单作用弹簧常闭驱动结构,通气开启、断气自动闭合。整机一体化圆柱结构,气缸内置无侧向凸起部件,轴向布局紧凑;直通式流道气流阻力较小,开放通导能力 45L/s,适配中等流量真空支路通断控制。阀门支持选配磁性感应开关,输出阀位信号对接自动化控制系统;阀体在洁净环境完成装配调试,密封表现稳定,适配常压至 1×10⁻⁵Pa 中高真空工况,广泛适配多个制造行业中小型真空管路隔断工况。
    半导体行业多用于中型真空腔体预抽管路、真空计采样支管、等离子设备分子泵前级隔离。气源中断时,阀门依靠弹簧自动闭合,阻挡大气倒灌进入真空腔体,降低真空规、晶圆样品氧化污染风险。紧凑机身便于集成在自动化真空设备内部,适合多条管路密集排布场景。对比 SE-N25,SE-N40 通流能力更大,能够缩短腔体抽真空耗时,适配容积更大的工艺腔体配套管路。
    光学镀膜行业适配中型蒸发镀膜设备、UV 真空固化设备,用作样品预处理腔体、蒸发源辅助抽气管路通断控制。设备检修阶段可以隔离局部管路,无需对整套系统泄压,提升设备周转效率;KF 快拆法兰搭配卡箍连接,拆装便捷,方便现场维护作业。
    锂电与真空检测行业,配套氦质谱检漏工装、中型真空烘烤、真空脱泡设备主管路控制,稳定密封性能维持真空系统基础真空水平。科研与高校实验室常选用该型号搭建管式炉、真空材料测试平台,用作样品充气支路、真空监测管路控制阀门,第三方真空工艺研发平台也将其用于搭建中型实验管路。
    阀座采用均衡压紧密封结构,标配 FKM 氟橡胶密封圈,可根据工艺气体工况调整密封材质;阀门启闭循环次数充足,长期重复运行工况下密封状态保持稳定。安装角度不受限制,支持水平、竖直多种布设方式。
    相较于角式真空阀,直通布局不占用横向空间,多台阀门可紧密并排布置,节省设备内部安装空间。同系列拥有 SE-N16、SE-N25、SE-N50 多款口径规格,可按照管路尺寸、抽气流量灵活选型。作为进口紧凑型真空切断元件,SE-N40 结构精简、安装灵活,是镀膜设备、真空检测仪器、实验室真空系统中等流量支路通断常用真空阀门方案。

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