池田屋ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵MS1200A参数介绍
日本现货ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵
MS1200A 为 MS 系列旗舰大型无油螺杆干泵,双螺杆无接触干式结构,泵腔、转子采用氟陶瓷复合防腐涂层,主打大抽速、强排粉、耐腐蚀,可大气压直抽、全压力区间连续 24 小时运转,适配 12 寸半导体、大型锂电涂布、光伏镀膜等高产能量产产线。
核心规格(50Hz)
标称抽速:1200m³/h,实测 980m³/h
极限真空:≤0.1Pa
主电机功率:15kW,极限稳态功耗 3.1kW
供电:三相 AC200~240V / 380~480V 50/60Hz
管路接口:吸气 ISO-F100,排气 KF40
冷却方式:水冷,冷却水流量≥4L/min
氮气吹扫:0~50SLM 可调
*大水汽处理量:1.5kg/h
运行噪音:64dB (A)
整机重量:264kg
合规认证:CE、cTUVus
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。
采用ULVAC独特设计的转子轴,实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。
用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。