日本现货ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵

MS600A 属于 MS 系列中型无油螺杆干泵，双螺杆无接触干式结构，全程无润滑油，输出洁净无油真空；转子与泵腔内置氟 / 陶瓷复合防腐涂层，适配腐蚀溶剂、粉体、高水汽工况，大气压直抽无需前级泵，风冷 / 水冷双版本可选，面向锂电、半导体、光学镀膜中型量产产线。

核心规格（50Hz）

抽气速率：120m³/h
极限真空：≤1Pa
电机功率：2.2kW
吸气口：KF50；排气口：KF40
冷却方式：水冷，冷却水流量≥4L/min
吹扫氮气：0~50SLM 可调
*大耐水汽量：1.5kg/h
运行噪音：62dB (A)
整机重量：139kg

供电：三相 AC200V，标配本地数显控制面板，支持外部远程启停与故障报警输出

特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。