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池田屋CCS晰写速低角度暗场环形光源LDR2-90BL2参数

池田屋CCS晰写速低角度暗场环形光源LDR2-90BL2参数

池田屋CCS晰写速低角度暗场环形光源LDR2-90BL2参数


LDR2-90BL2 是大口径低角度暗场蓝光环形光源,低角度定向直射形成暗场成像,光滑平面呈深色背景,划痕、针孔、颗粒、崩边、微小凹凸高亮凸显;470nm 蓝光对透明薄膜、高反光金属、硅基晶圆微小瑕疵检出能力优于红光 / 白光。


光学核心参数

光学项 规格说明
发光波长 470nm 蓝光(典型值)
发光结构 柔性倾斜电路板 + 高密度子弹头 LED,45° 窄角定向集中聚光
照明原理 暗场低角度直射,光滑基材吸光显暗底,微小凹凸缺陷漫反射高亮成像
工作面照度均匀性 中心检测区域明暗偏差<9%,无局部眩光、明暗环带
光**认证 IEC 62471 光**豁免级,24h 连续观测无视觉损伤
成像优势 蓝光短波,透明薄膜针孔、超薄镀膜瑕疵、硅片微裂纹检出灵敏度更高

应用场景

  1. 半导体晶圆行业(主力场景) 6/8 寸硅片表面微划痕、浮尘颗粒、切割崩边、光刻胶针孔、晶圆隐裂全域 Mapping 检测。
  2. 精密光学、显示薄膜行业 LCD/OLED 偏光片、AR/AF 光学镀膜、VR 波导片、超薄隔膜微小针孔、折痕、厚薄不均暗场成像检测。
  3. 车载光电、3C 玻璃行业 车载大尺寸盖板玻璃、镜头镜片、高反光金属装饰件细微划痕、脏点、崩边质检。
  4. 新能源光伏、锂电行业 大尺寸硅片电极栅线缺陷、锂电隔膜微裂纹、极片表面异物检测。
标准配件


LDR2-90BL2 光源本体、300mm 屏蔽信号线、SMR 标准接头、M3 安装固定螺丝、原厂规格说明书、清洁维护套件


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