池田屋精品Otsuka大塚电子便携式智能膜厚仪 SM-110PO 型参数介绍
品牌型号：日本 OTSUKA 大塚电子 Smart 系列 Pro 专业款 SM-110PO
同系列区分：SM-110SO 为标准基础款；SM-110PO 是多层膜专业高配版，支持*多 3 层复合薄膜解析
测量原理：反射分光干涉法（白光光谱干涉），非接触无损检测，通过薄膜界面反射光谱计算精准膜厚、同步输出反射光谱曲线
规格概览
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项目
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SM-110PO 规格参数
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光谱检测波段
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400～1000nm 可见光全波段
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单层膜测量范围
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0.1μm～100μm（折射率 n=1.6 基准）
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多层膜测量范围
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1μm～100μm，*多解析3 层复合薄膜
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测量分辨率
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0.1μm，*小读数 0.001μm
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重复精度
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2.1σ＜0.01μm（1μm SiO₂标准片）
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测量光斑
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Φ1mm 以下，适配曲面、狭小区域检测
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单次测量速度
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≤1 秒 / 点，一键快速出数
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测头结构
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分体柔性光纤探头，管线支持 270° 旋转，异形 / 凹槽工件可测
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显示屏幕
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彩色触控液晶屏，实时显示厚度、反射光谱、功率谱
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数据存储导出
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本机大容量存储，U 盘导出 CSV 格式检测报告
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整机尺寸重量
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138×198×61mm，整机仅 1.1kg，单手手持便携
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供电续航
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内置锂电池，连续工作≥4 小时，支持快充
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工作环境
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0～40℃，无尘车间、产线现场通用，普通室内灯光无干扰
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适配基材
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玻璃、PET 光学膜、硅片、金属、柔性盖板、树脂、镜片
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行业应用
显示光学行业
手机盖板 AR 抗反射膜、AF 防指纹膜、HC 硬化膜、LCD/OLED 偏光片涂层、柔性屏光学胶层
半导体微电子
晶圆光刻胶、芯片钝化膜、光学滤镜多层镀膜
精密光学元件
镜头镀膜、隐形眼镜涂层、玻璃光学薄膜、PET 离型涂层