USHIO牛尾UX-4系列集成投影曝光设备适用于配备LED光源的晶圆

UX-4系列集成投影曝光设备，适用于配备LED光源的晶圆，编号“UX-44101SCB / UX-45114SCB”

“UX-4系列”是一款批量投影暴露装置，拥有多年经验，主要致力于提升功率半导体、微机机系统（MEMS）及通信和光电子聚变（光学半导体）相关器件的生产效率。
半导体行业对化学品使用和排放的环境法规趋于严格，影响整个行业。 尽管LED照明源在曝光设备中不断进步，但对于需要高曝光量的层次来说，由于照明不足，延长曝光时间仍是一个挑战。
为应对这些挑战，潮基于自成立以来培育的固态光源设计技术，开发了一款LED灯源单元，其亮度相当于传统水银灯，并成功开发出配备这些LED光源单元的“UX-44101SCB”和“UX-45114SCB”。

因此，随着5G和移动性必需的下一代电子器件晶圆不断发展，体积更大、精度更高，Bump需要更高的曝光率。※1、WLP※2它能实现与传统汞灯相当的高通量。 与传统汞灯相比，它在曝光时实现了瞬间开关，延长了光源的使用寿命，并显著降低设备安装后的运行成本。


*1 一种在半导体芯片电极处形成微小突出金属端子（如焊球）的工艺，称为“凸起”。
*2 在将硅晶圆切割成方形芯片之前，封装（密封）和终端




■ 主要特征
・批量放映曝光：无遮罩损伤，高生产率超过120WPH
·深焦深：曝光3D表面形状，厚胶片光阻
曝光 ·自动化支持：在线式， 在线，OHT/AGV
兼容 ・无汞，LED 光源

兼容 ■ 外部照片

■ 规格