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原厂ULVAC爱发科VTR-151M/SRF小型高频溅射设备

原厂ULVAC爱发科VTR-151M/SRF小型高频溅射设备

产品型号：RFS-201

产品简介：

原厂ULVAC爱发科VTR-151M/SRF小型高频溅射设备原厂ULVAC爱发科VTR-151M/SRF小型高频溅射设备

详细介绍

原厂ULVAC爱发科VTR-151M/SRF小型高频溅射设备
原厂ULVAC爱发科VTR-151M/SRF小型高频溅射设备

溅射设备

溅射设备

VTR-151M/SRF

ULVAC

配有RF电源的小型高频溅射设备。
可以实现金属，半导体，绝缘体成膜，因此非常适用于基础研究开发等实验用途。

特点

绝缘，金属，半导体材料的溅射设备。
主泵使用分子泵。
可以在2inch×3阴极上*多3层，多层成膜。
通过磁控溅射，溅射速度可达到30nm/min（SiO2）。
搭载了基板加热机构（350℃）。

规格

型式		VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
真空性能	极限压力	6.6×10^-４Pa
真空性能	排气时间	6.6×10^-３Pa/5min
真空槽	真空槽	金属腔（内径Φ310.5mm×高160mm)
	阴极	2inch、3元
	基板推荐尺寸	Φ2inch（Φ50.8mm） ×t1mm
	有効成膜范围	25mm
	成膜速度	SiO2 SiO2, 成膜30nm/min以上
	膜厚分布	SiO2 SiO2, 成膜25mm范围±10％以内
	基板加热温度	Max 350℃
	基板／电极间距	50mm ～ 90mm （可変：半固定）
排气系统	主泵	分子泵 250L/sec
	液体氮气捕集器	ー
	補助泵	油回转泵 200L/min
	油雾捕集器	油雾捕集器 OMT-200A
操作系统	主阀	蝶阀
	補助阀	三通阀
	自动泄露阀	选项
	操作	手动
控制系统	RF电源	Max 300W (0～300Ｗ可変）
	皮拉尼真空计	GP-1GRY
	电离真空计	ISG1/SH2-1
设置	*大尺寸	1081mm（W）×853mm（D）×1104mm（H）
设置	质量	400kg

效用

型式	VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
所要电气量	200V 单相 50/60Hz 3.5kVA
接地端子	A种（接地抵抗値 10Ω以下）
所要水量	2.0 L／min　(水温:25℃以下、水圧:200kPa（表压）)
组合连接（电源）	橡胶绝缘软管4m 附R3.5-5压接端子
组合连接（接地）	接地电缆　4m 附R5.5-8压接端子
组合连接（水）	涤纶软管（内径9mm×外径15mm）、4m（2根）