池田屋分享FLUORO福乐 手动晶圆镊子M100-150L 技术参数介绍
池田屋分享FLUORO福乐 手动晶圆镊子M100-150L 技术参数介绍
FLUORO（福乐）M100-150L 是一款专为半导体行业设计的6英寸杠杆锁式手动晶圆镊子。它采用全PEEK（聚醚醚酮）材质制造，依靠纯机械结构工作，无需外接气源或电源，专为晶圆的干法、洁净转运场景打造。
技术参数
参数 规格
型号 M100-150L
品牌 FLUORO (福乐)
类型 杠杆锁式 (Lever Lock Type) 手动镊子
适用晶圆 6英寸 (约150mm)
主体材质 PEEK (聚醚醚酮)
夹持宽度 (W) 40 mm
晶圆边缘接触尺寸 顶部: 3.0mm, 底部: 6.0mm
全长 (L) 185 mm
重量 71 g
特点
高洁净度PEEK材质：镊子整体由PEEK（聚醚醚酮） 制成。这种材料具有优异的耐热性、耐化学腐蚀性和机械强度，且无金属、无胶水析出，非常适合百级洁净室（Class 100）环境使用。
杠杆锁止机构：这是该镊子的核心设计。它通过杠杆原理，在夹紧晶圆后可以锁定夹持力。操作者无需持续用力按压，即可保持恒定的夹持力，有效缓解了长距离搬运或重复操作时的手部疲劳，并保证了作业的一致性。
无损晶圆设计：
两点边缘夹持：镊子卡爪仅接触晶圆侧边边缘，不会触碰晶圆正面的图形区域，*大限度地降低了对晶圆表面的划伤和污染风险。
光学抛光处理：与晶圆接触的部分经过光学抛光处理，可减少表面的微颗粒数。
内置限位挡块：设计有防滑脱结构，可有效规避晶圆在搬运过程中滑移或脱落。
应用场景
适用晶圆：主要适用于6英寸的硅片、碳化硅（SiC）等化合物半导体基板。
适用环境：适用于半导体无尘室内的晶圆手动转运、实验室样品取放以及产线应急取片等干法工艺场景。