FLUORO福乐吹气释放型真空吸笔C007工作原理介绍
FLUORO福乐吹气释放型真空吸笔C007工作原理介绍
C007是FLUORO福乐C系列DuoVac双路吹气释放型防静电真空吸笔,采用二重配管双气路阀体结构,须搭配FV‑W双向真空泵使用,区别于普通单负压吸笔,可实现负压吸附、正压吹气卸料,专门解决超薄晶圆、薄片器件静电粘连、自重无法脱落的问题,适配干式无尘工位。
一、整体气路结构
C007笔身内置两套独立气路通道,集成在一根专用双通路软管内,分别连通真空泵的负压回路与正压吹气回路;内部阀芯、密封件采用PTFE氟树脂材质,保证气路切换气密性,笔身为导电碳纤维复合树脂,具备ESD防静电泄放能力,适配百级、千级无尘车间。
重要前提:不可使用普通FV‑30/FV‑60单负压真空泵,普通泵没有正压输出,无法实现吹气释放功能。
二、阀体工作逻辑
状态 1:未按压按钮(常态吸附)
笔身顶部按钮处于松开位置,内部机械阀芯切换至负压通路。FV‑W真空泵输出负压,负压通过双管路其中一路传导至前端吸盘,吸盘形成真空吸附力,牢牢吸住工件;此时正压吹气回路被阀芯封闭,无气流输出。该状态下可以手持转运、对位、静置工件,不需要持续按压按键,适合长距离搬运薄片、薄芯片、MEMS器件。
状态 2:按下按钮(吹气释放卸料)
按下笔身按键,内部机械阀芯发生位移,瞬间切断负压通路,同时打通正压吹气通道。FV‑W泵输出的洁净过滤正压气流,经由另一路气路到达吸盘内部,柔和气流从吸盘喷出,将工件平缓吹离吸嘴;依靠气流实现卸料,不再依靠工件自重脱落,解决薄片静电吸附粘连、粘片崩边、裂片风险。
状态 3:松开按钮
松开按键,阀芯弹簧复位,自动切回负压吸附通路,恢复吸附功能,可直接进行下一次拾取,无需反复启停真空泵,适合高频连续取放作业。
三、与普通吸笔的原理差异
C001/C003:仅单路负压气路,释放依靠工件自重,薄片容易粘连吸嘴;
C007:双路独立气路,吸附‑吹气释放一体化,利用可控正压气流完成卸料,适合超薄、轻量工件。
四、关键使用原理注意点
吹气压力由FV‑W真空泵调节,吹气力度不宜过大,防止轻薄工件被气流吹飞;
双管路软管为专用配件,不能替换为普通单路真空软管;
内部阀芯为精密机械结构,禁止大力按压按键,避免密封件损坏造成气路串气;
整套系统需要接地,才能发挥C007的防静电效果;
吸嘴为消耗件,吸盘破损会造成负压漏气、吹气气流异常,需要及时更换。
五、适用场景
半导体封装测试、划片后晶粒分拣、超薄硅片、碳化硅薄片、光学基板、微型MEMS元器件的干式取放,适合容易发生静电粘连的轻薄工件工位。