池田屋精品Otsuka大塚电子显微分光膜厚仪OPTM series
池田屋精品Otsuka大塚电子显微分光膜厚仪 OPTM series
● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的**反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
● 单点对焦加量测在1秒内完成
● 显微分下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
● 独立测试头对应各种inline定制化需求
● *小对应spot约3μm
● 可针对超薄膜解析nk
量测项目
● **反射率分析
● 多层膜解析（50层）
● 光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可不受其影响，单独测量上面的膜。
OPTM 系列依靠微区定位、多层膜解析、基板补偿算法，可解决很多椭偏仪难以适配的粗糙基板、图案微小区域样品测试，为薄膜工艺开发、品质管控提供可靠的光学检测方案。