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新品发布DIC迪爱生 中空纤维膜脱气模块PF系列

新品发布DIC迪爱生 中空纤维膜脱气模块PF系列


    DIC迪爱生SEPAREL的PF系列中空纤维膜脱气模块,依托特殊中空纤维膜材质,实现液体与气体分离,在不截留液体的前提下,去除液相内部溶解氧气、二氧化碳等气体,同时支持反向溶气作业,为半导体、显示面板、精细化工等行业提供流体脱气整体解决方案。

    PF系列分为通用PF‑D水用系列与全氟耐化学PF‑F系列两大品类,覆盖微量、小、中、大流量多种规格,适配不同工艺流体工况,模组整体结构紧凑,支持卧式、立式多种安装方式,便于嵌入设备机柜、循环管路内部,适配产线设备集成需求。

    PF‑D系列主要面向水性流体工况,接液部件选用低析出材质,适合超纯水、清洗用水、水性涂布液、水性墨水等介质,致密皮层结构,面对含有表面活性剂的液体,可降低膜孔浸润失效风险,保障长期运行稳定性,内部流道优化,压力损失偏低,适配低压泵循环回路,支持反向清洗,可冲洗膜丝内壁堆积杂质,延长模组使用周期,多用于纯水循环、超声波清洗、分析仪器流体回路、功能水制备场景。

    针对强酸、强碱、有机溶剂等腐蚀性的药液工况,则选用PF‑F全氟系列,膜丝、壳体、密封件全部采用氟系材质,无金属部件接触药液,减少金属离子析出,适配蚀刻液、显影液、剥离液、IPA、NMP等各类化学试剂,规避普通膜组件被药液溶胀腐蚀的问题,可实现ppb等级深度脱气;带‑T后缀型号进一步优化流道,压降更低,适配低扬程泵体系统,减少管路背压负担。

该系列模块具备脱气、溶气双向能力,真空负压模式完成药液脱泡脱氧;模组外侧通入工艺气体,还可向液体溶入氮气、氢气,制备功能水体,简化设备管路配置,减少配套部件数量,降低设备运维成本。

    产品广泛应用于半导体晶圆制造,用于光刻胶、显影液、蚀刻药液在线脱气,减少涂布针孔、工艺参差;显示面板行业,适配涂布液、剥离液脱气;同时覆盖喷墨设备、精细化工、分析仪器、新能源水处理等行业,满足实验室研发与量产产线不同流量等级的脱气需求,可单支使用,也可多支并联实现大流量处理,适配多样化产线设计需求。
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