池田屋精品FLUORO福乐耐化学型真空吸笔F001
池田屋精品FLUORO福乐耐化学型真空吸笔F001
F001 是 FLUORO 福乐 F 系列耐化学真空吸笔,采用 PTFE 特氟龙全氟材质打造,专为半导体湿法工艺工况开发,为带药液浸润的晶圆、基板提供无损手动拾取方案,适配酸洗、蚀刻、清洗后的工件转运,可直接接触强酸强碱与有机溶剂,弥补干式 C 系列吸笔无法接触化学药液的短板。
F001 为NC 常闭点动阀体,操作逻辑为按住按键产生负压吸附工件,松开按键即刻切断真空完成释放,单手即可完成全部拾取动作,操作响应迅速,适合短时间频繁取放作业。笔身全部采用耐化学氟树脂材质,阀门内部构件同样做防腐处理,能够耐受各类腐蚀药液浸泡,不易发生溶胀、老化;同时满足无尘车间低发尘要求,不会对晶圆表面引入颗粒污染。
产品采用模块化可换吸嘴设计,可按需选配硅胶、PEEK、PCTFE 多种吸盘吸头,适配 2‑12 英寸硅片、碳化硅薄片、石英基板、玻璃试样;可选 X 后缀 360° 万向旋转接头,工件吸附后可自由转动角度,方便槽体内对位作业;吸嘴耗材损坏后单独更换即可,无需整体更换吸笔,降低使用成本。
该吸笔适配 FV‑30、FV‑60 等常规负压真空泵,无需配套 FV‑W 吹气泵;可搭配耐腐蚀软管、耐化学吸笔支架配套使用,闲置时收纳保护吸嘴,避免磕碰划伤。
广泛适配多个行业:半导体湿法产线,清洗槽、蚀刻槽、显影槽内晶圆的手动转运;材料实验室,腐蚀处理后的薄片样品拿取;光电行业,经过化学处理的光学玻璃、滤光片转移作业。