池田屋现货 TOFCO东富科 FCV-C40-G10M 卡套式流量控制阀
FCV-C40-G10M 采用 3/8 英寸 Pillar 卡套接头，C40 规格阀体，流量管控区间 100~2000mL/min。卡套式管路连接便于现场拆装维护，适合洁净车间中大流量流体管路，阀体依靠外部流量信号实现闭环反馈调控。
阀体搭载高性能步进电机与高分辨率处理单元，阀门开度调节细腻。支持 Modbus RTU 通讯，可达到 32 台设备串联，实现多通道产线集中管控。流量设定支持 4-20mA、1-5V 模拟信号或串口通讯，适配多种自动化控制系统。
C40 阀体全开全闭动作约 0.3 秒，常规流量调节响应约 2 秒，流量切换响应快速。可选择 HK 高压规格，适配管路压力偏高工况。设备可配置流量监测信号输出，实时上传流量数据，方便制程数据追溯。
卡套接头密封稳定，管路检修时拆卸便捷，减少管路拆装带来的杂质污染风险。3/8 英寸通流管径，流体阻力小，适合大流量药液分配、批量晶圆清洗纯水供给场景。
阀体结构紧凑，便于集成在大型湿法设备内部。适配纯水与工艺药液，多用于半导体湿法制程。选型前确认介质特性，渗透药液不在设备保障范围。信号配置灵活，可根据现场电控系统选择信号类型，适配旧产线改造与新设备配套。