原装日本KOFLOC小岛质量流量控制器 ST-500 池田屋实业（深圳）有限公司

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原装日本KOFLOC小岛质量流量控制器

产品型号：ST-500

产品简介：

KOFLOC小岛主打热式质量流量控制器、浮子流量计、精密针阀、压力控制阀，广泛用于半导体、分析仪器、实验室、光伏、环境检测等行业。

详细介绍

日本KOFLOC小岛质量流量控制器

ST-500是日本KOFLOC小岛推出的一款 PI（压力不敏感）数字型全金属密封质量流量控制器（MFC）。其核心优势在于，即使供气压力发生波动，也能提供非常稳定的流量控制。
PI（压力不敏感）功能：通过在流量传感器前段增加压力传感器，实时监测压力变化并自动修正阀门开度。这能有效解决传统MFC因供气压力波动导致的流量不稳问题。

全金属密封，耐腐蚀性强：采用隔膜式全金属密封（Metal Seal）结构，并对流路进行EP（电抛光）和氧化覆膜处理，使其能够应用于腐蚀性流体。
高精度与快速响应：
精度：在全量程范围内提供高精度控制，重复性高达 ±0.2% F.S.。
响应：整个流量控制范围的响应时间在1秒以内。
灵活的通信与接口：支持DeviceNet和EtherCAT等工业总线通信协议，便于集成到自动化系统中。同时兼容 W-seal 和 C-seal 等接头标准。
多范围功能：通过专用应用程序，可在 30% 至 110% F.S. 的范围内灵活调整流量设定值。

KOFLOC小岛主打热式质量流量控制器、浮子流量计、精密针阀、压力控制阀，广泛用于半导体、分析仪器、实验室、光伏、环境检测等行业。
    MFC 质量流量控制器系列：3660/3665 为通用经济型机型，3660 覆盖 10SCCM‑20SLM，3665 适配 30‑100SLM 大流量，采用热式传感，常闭阀门，性价比突出，多用于科研设备、真空装置、分析仪器配套。
    5400/5410 为金属密封机型，气密性优异，适配腐蚀性工艺气体，适合半导体工艺场景。DF‑200C/DF‑250C 为数字款，内置 RS485 通讯，响应速度快，支持多气体校准，流量覆盖 10SCCM‑500SLM，适配自动化产线集成。8500/D8500 系列自带显示屏，可现场读取流量，支持报警设置，便于调试维护。
    3200 系列属于高精度小型 MFC，体积紧凑，适合空间受限设备内部安装。浮子转子流量计 RK 系列，包含 RK130、RK20T、RK1000 等型号，亚克力透明管结构，可直观观察浮子读数，部分集成微调针阀，量程 0.01‑100L/min，用于 SMT 吹扫、离子风机、实验室简易气路监测，结构简单、成本低，适合非精密手动流量调节场景。
    辅助阀类：2400 系列精密针阀，迷你面板安装，适配气体、液体微量调节，多用于采样系统与分析仪；6600 调压阀、6800 背压阀，实现管路压力稳定控制，适配气体混合、采样管路稳压需求。
    整套型号体系覆盖微量到中高流量，兼顾模拟、数字控制，从实验室研发到工业量产均可匹配，是气体流量测控领域常用日系设备。