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日本原装FLUORO福乐 手动晶圆镊子
产品型号:M100-300L
产品简介:

产品分为两大核心系列:C 系列防静电干态款与F 系列耐化学湿法款,全系列采用模块化结构,笔身阀体与吸嘴可拆分,吸嘴属于消耗件,磨损后可单独更换,无需整体更换笔体,降低使用成本。整机轻量化设计,笔身重量约 24‑35g,长时间手持作业不易疲劳,支持直柄固定接头、X 万向 360° 旋转接头,万向款可灵活调整拾取角度,适配槽体内部狭小空间作业。

详细介绍

   
    FLUORO福乐杠杆锁手动镊子,是面向半导体无尘室开发的机械式晶圆夹持工具,依靠杠杆锁止机构实现恒定夹持,无需真空泵、气源配套,专为硅片、碳化硅、化合物基板的干法转运设计,适配实验室与产线应急取片作业。
    产品采用两点外缘夹持结构,卡爪仅接触晶圆侧边,不触碰晶圆正面图形区域;夹持端头经过光学抛光处理,低发尘,减少划伤、颗粒污染、崩边风险,内置限位挡块,规避晶圆滑移脱落问题。依托杠杆棘轮锁止设计,夹紧完成后即可锁定夹持力,操作人员无需持续用力按压,长距离搬运可缓解手部疲劳,夹持力度不受人手操作差异影响,作业一致性高。
    整机分为两大材质系列:M100‑L 为本色 PEEK 洁净款,E100‑L 为导电 PEEK 防静电款,满足 ESD 管控车间需求;连续耐温可达 130℃,无金属、无胶水析出,适配百级无尘环境使用;产品自重轻便,单支重量 71‑77g,握持操作简单上手快。
    完整型号矩阵覆盖主流晶圆规格:M100‑100L(4 寸)、M100‑150L(6 寸)、M100‑200L(8 寸)、M100‑300L(12 寸);防静电版本 E100‑100L、E100‑150L、E100‑200L、E100‑300L,可按需选型。

手动镊子所用材料列表
材料
材料特征
带碳纳米管的PEEK
通过将纳米碳掺入PEEK树脂,具有优异的导电性、耐化学性、耐热性和机械强度。
但它溶解在浓硫酸中。
聚醚酮在耐化学性、耐热性和机械强度方面表现出色。
但它溶解在浓硫酸中。
PPS 福特隆
与PEEK不同,它不溶于浓硫酸中。
其化学抗性、耐热性和机械强度均不及PEEK。

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