日本原装TORAY东丽叠层测量装置 OM-7000H 池田屋实业（深圳）有限公司

捕捉变化，开拓未来
通过科学技术的发展和未来的人才培养为社会做贡献

13889915966

主营产品：实验室仪器；测量仪器；环境检测仪器；计量器具；传感器の专门商社池田屋！

您的位置：首页 > 产品与服务 > TORAY东丽

日本原装TORAY东丽叠层测量装置

日本原装TORAY东丽叠层测量装置

产品型号：OM-7000H

产品简介：

高精度测量晶圆键合错位和前后对准情况实现了晶圆键合错位和前后对准的高精度测量。

详细介绍

<功能>

全自动测量
可通过透射和反射进行测量
采用独特的测量算法进行高精度测量
采用压电陶瓷平台的高精度聚焦
自动保存NG图像
两侧重叠的图案也可以测量。
可集成到晶圆键合设备中

<规格（OM-7000H）>

应用实例：堆叠式图像传感器、堆叠式存储器（闪存、DRAM）、下一代IGBT等。

测量方法	红外边缘检测
目标工作样本	φ300mm 堆叠晶圆
照明	反射红外/透射红外

目标	5倍：全局对齐 20倍：测量
测量重复性	3σ≦10nm

测量时间	每点5秒
清洁级	一年级
全自动测量	兼容GEM通信，符合GEM300标准