新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备 VUM-3500 池田屋实业（深圳）有限公司

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新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备

新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备

产品型号：VUM-3500

产品简介：

新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备采用254nm波长，*适合去除电荷。单波长允许低温处理。用低入射角紫外线有效照射目标区域。提高了LSI的成品率和可靠性。

详细介绍

新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备

新品ORC欧阿希半导体用UV照射设备

产品规格

规格

模型	VUM-3500
晶圆尺寸	Φ300毫米（标准）
同时处理数	15 件
盒式磁带格式	晶圆传送盒
晶圆运输	自动输送
灯数量	20 件
照度测量	自动测量

闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。

标题01

采用254nm波长，*适合去除电荷。
单波长允许低温处理。
用低入射角紫外线有效照射目标区域。
提高了LSI的成品率和可靠性。