池田屋分享ULVAC爱发科气动真空阀VLP-SA050JH参数一览

日本ULVAC爱发科气动真空阀

ULVAC 爱发科是日本老牌真空精密测控设备制造企业，深耕真空腔体监测、工艺气体精密测控多年，凭借超高洁净、长时稳定、纳米级高精度、极低漂移的真空与气体测控设备为核心优势，配套自研全域真空精密校准检测实验室。专业从事干式真空泵、分子泵、真空计、氦质谱检漏仪、工艺气体流量控制器、真空阀门、真空腔体配套测控元件的研发、生产与销售。

特色

SUS角阀可烘烤至150°C。
可以从四种连接法兰中选择：JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。
提供双作用和单作用驱动系统。对于单作用系统，只需一条压力管线。
材料是不锈钢。（不过，VLP-U 是钢制的，而 VAP、VAH 和 VFR 是铝制的。））

规格

模型	VLP-SA
阀板允许的*大压差（正压/反压）MPa	0.10
开门时允许的*大压差（前压/倒车压力）MPa	0.10
气门板密封系统	〇戒指
轴封方法	〇戒指
传动系统	双作用气缸
泄漏量（外部）*1 Pa·M3/s	≦1.0E-10
泄漏量（内部）*1 Pa·M3/s	≦1.0E-10
操作压力范围（**压力）Pa	大气压力 ~ 1.0E-5
允许烘烤温度（静置状态）*2 °C	主体：150*3驱动单元：70（传感器：60）
工作温度 °C	5~70（传感器：5~60）
工作流体温度：°C	5~70
制热和制热速率 °C/h	≦30
使用环境与氛围	非腐蚀性大气
所用液体	非腐蚀性流体
气缸供压 MPaG	0.40~0.60
保证操作次数*4	100,000
驾驶姿势	自由
开关传感器	期权（单独出售）
主要真空侧组分材料	SUS304
大气侧分的主要材料	SUS304，AL-6061（阳极氧化）
贝洛斯材料	—
密封部件材料（真空侧）	FKM
油（真空侧）	氟脂
机库安装科	没有*5
RoHS	反响

*1 泄漏量不包括零环的穿透。此外，对于零环轴密封件，开合时的外部泄漏量不受相关规定约束。
*2 烘焙时不要开关机器。
*3 VLP-MB，VLH-MB 主单元（开门）：200°C，主单元（闭合）：150°
C*4 详情请参阅说明书。
*5 VLP-SA350JH主单元配有两个环形M1×2接口。

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