池田屋分享OTSUKA大塚电子线扫描膜厚仪离线型技术规格

   OTSUKA大塚电子的线扫描膜厚仪（离线型） 是一款用于薄膜研发与品质管理的桌面型检测设备。其核心优势在于能对薄膜整个表面进行高速、高精度的膜厚不均匀性（Mura）检测。

特点

● 高速高精度进行薄膜等面内膜厚不均一性检测

● 硬件&软件均为新设计

● 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援

● 实现高精度测量

● 实现高速测量（500万点以上/分）  

离线型膜厚仪主要适用于研发（R&D） 和生产线上的抽样检查（Sampling Inspection）。它作为一个独立的质量控制工具，可以在非生产环境下对薄膜样品进行详尽分析，为工艺优化和产品质量把关提供数据支持。

• 工作原理：设备通过向薄膜发射光线，分析其表面和背面反射光产生的干涉光谱来计算厚度。这种技术能实现高速、高精度的非接触式测量。

• 与传统点测的对比：传统方式只能测量薄膜上某几个“点”。而线扫描方式如同对整幅薄膜进行“扫描”，能生成**的厚度分布图，清晰显示任何不均匀或缺陷区域。

产品规格