今日分享Otsuka大塚电子Smart膜厚仪检测原理

特点

● 可携带至现场的手持式

● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜

测量原理

Smart膜厚仪采用反射分光法(光学干涉法)测量薄膜厚度。例如,在测量基底上的镀膜时，从样品上方入射的光会在薄膜表面发生反射(图中R1)。而穿透薄膜的光会在基底与薄膜的界面处发生反射(图中R2).通过测量由光程差异引起的相位偏移(相位差)所产生的光学干涉现象，可根据测得的反射光谱与折射率计算出薄膜厚度。

Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较

●与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场”以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。

●与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。

●与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到**值！