MIYUKI美幸辉L型气动真空阀AEH-N16 

MIYUKI（美幸辉）AEH-N16 是一款气动驱动的 L型真空阀，属于 AEH 系列。它的核心优势是在 AE 系列经济型 O 型圈密封的基础上，增加了三位置机械限位功能，能实现全开、全关和中间任意开度的精准控制。

简单来说，它用一个阀门解决了“通断”和“微调”两个问题，非常适合需要缓慢破空或分段预抽的场景。

核心特点

• 三位置可调功能 (核心差异)：这是 AEH 系列与标准 AE 或 AER 系列*大的不同。通过气缸上的可调限位螺丝，可以锁定全关、中间开度、全开三个位置。中间的“节流”状态可以实现：

  • 缓慢抽气：防止气流过快扬起腔体内粉尘，污染工件。

  • 缓慢破空：避免快速充气造成的气压冲击，保护工件和腔体。

• 经济型O型圈密封：作为 AE 系列的衍生款，它采用FKM氟橡胶O型圈作为阀杆动密封。优点是结构简单、成本较低、维护方便。

• L型/角式结构：阀体呈90度角，适合安装在需要改变气流方向的真空管路上，能有效节省安装空间。

• 高洁净度材质：阀体采用 SUS304不锈钢 制造，内腔经过电解镜面抛光，有助于减少颗粒附着和气体析出。

技术规格

应用领域

• 中小型光学镀膜设备：用于镀膜前的缓慢预抽和镀膜后的缓慢破空，保护精密光学镜片。

• 实验室真空腔体：在科研实验中，需要对抽气/充气速度进行**控制的场合。

• 半导体设备：一些对粉尘控制要求严格的工艺环节。

• 检漏设备：在氦质谱检漏等应用中，避免压力冲击影响检测精度。