ULVAC爱发科气动真空角阀VLP-SB016KF产品介绍
ULVAC爱发科 气动真空角阀VLP-SB016KF 产品介绍
ULVAC爱发科 气动真空角阀VLP-SB016KF 产品介绍
VLP-SB016KF 双动式气动真空角阀，DN16 ISO-KF16 法兰，波纹管轴封低放气设计，适用大气压至 1×10⁻⁶ Pa 高真空。双作用气缸断气保位，阀体*高 150℃烘烤，内外漏≤1E-10 Pa・m³/s。适合 OLED、半导体、光学镀膜等高洁净真空系统管路隔断。
型号解读
VLP：表示这是一个气动驱动的L型真空角阀系列。
SB：核心代号，表示该阀门采用波纹管 (Bellows) 作为轴封方式。
016：代表阀门通径为 16A，即公称直径为16mm。
KF：表示法兰标准为ISO-KF (快速法兰) 规格。
工作原理
VLP-SB016KF通过控制压缩空气来驱动阀门动作。
驱动源：需要接入压力为 0.40 ～ 0.60 MPaG 的洁净压缩空气。
执行机构：采用双作用气缸。通过切换压缩空气的进出方向，推动活塞杆做往复运动。
传动与密封：活塞杆通过波纹管 (Bellows) 与阀杆连接。波纹管在保证动力的同时，提供了超高真空所需的密封性。
阀芯动作：阀杆带动阀板在L型阀体内做直线运动，实现阀门的开启或关闭。