池田屋ULVAC爱发科多级罗茨干泵HR90使用介绍
池田屋ULVAC爱发科多级罗茨干泵HR90使用介绍
ULVAC HR90是半导体、精密化工行业专用多级罗茨干式真空泵，采用全无油结构，搭配水冷散热与氮气吹扫系统，具备耐腐蚀、高抽速、低运维成本的优势，广泛适配CVD、蚀刻、真空镀膜等精密工艺的真空抽取作业，支持本地手动、远程PLC自动双控制模式，规范标准化操作可有效规避设备卡死、腐蚀、超温等故障，保障产线稳定运行。
设备开机前必须完成点检工作，杜绝带故障启动。首先检查电气系统，确认三相380V供电正常、急停按钮复位，设备接地良好、无电路报警。其次核查公用工程条件，确保冷却水管路通畅、无渗漏，进水温度维持常温，流量满足设备运行要求；工艺氮气压力稳定在0.2-0.3MPa，吹扫气路洁净无堵塞。同时检查泵体状态，齿轮箱润滑油油位处于标准区间、油质清亮，进排气管路畅通，进气隔离阀保持关闭，进气滤网干净无粉尘杂物，清空设备历史报警故障，确认整机工况正常。
开机操作需严格遵循分步流程，严禁重载启动。先开启冷却水与氮气吹扫系统，预吹扫3分钟，置换泵腔内空气与杂质，避免工艺气体残留沉积。随后在控制面板启动设备，电机软启动空载运行，持续观察5分钟，监测电机电流、设备振动、运行异响、泵体温度等参数，确保泵体温度稳定在85℃以下，无异常振动与金属摩擦声，设备空载运行平稳后，缓慢开启工艺进气阀，对接真空腔体开展抽气作业。设备运行期间，需实时监控水冷、氮气吹扫、泵体温度等核心参数，严禁断吹扫、断水冷运行，杜绝长期抽吸含粉尘、腐蚀性工艺气体。
设备停机分为日常停机与长期停机两种规范流程。日常生产停机时，先关闭腔体进气隔离阀，隔绝工艺气源，加大氮气吹扫力度，持续吹扫10-20分钟，清理泵内残留腐蚀气体与沉积物，保护转子核心部件。吹扫完成后停止泵体运行，冷却水需持续通水冷却1小时以上，待泵体充分降温至常温后，方可依次关闭水、气阀门。若为节假日、检修长期停机，需延长氮气吹扫时长，排空管路积水，封堵进出气口防尘防潮，断开设备总电源，做好设备封存防护。
日常运维需坚持班前点检、定期保养，每日核查设备运行参数与报警信息，每周清理进气滤网与排气过滤器，按照设备工时定期更换齿轮润滑油。严格遵守操作规范，可有效降低设备故障率，延长干泵使用寿命，保障精密真空工艺持续、稳定、高效运行。