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池田屋精品!神津精机SYA0750-R01型精密横辊导向器参数介绍

池田屋推出神津精机(KOHZU)品牌 SYA0750-R01 型精密横辊导向器。该产品为面向半导体光学精密定位控制系统 “精密位移测控平台” 的专用导向组件,采用交叉滚子横辊导向结构,支持步进电机闭环驱动,高刚性低误差且轻量化紧凑,适用于晶圆检测对位台、光纤耦合调整台等设备高精度位移运行的导向支撑作业。

基础机械规格

参数项 参数值
产品型号 SYA0750-R01(反向款:SYA0750-R01-RRR)
导向结构 精密交叉滚柱(横辊)导向器
台面尺寸 75mm×100mm
XY 单轴行程 ±25mm
传动结构 滚珠丝杠,导程 1.0mm
主体材质 铝合金,白色硬质氧化处理
整机自重 1.9kg
水平额定负载 186N(19kgf)
精度与运动性能

参数项 参数值
整步 / 半步分辨率 1μm / 0.5μm
1/20 微步细分分辨率 0.05μm
*高运行速度 10mm/s(半步模式 20kpps)
重复定位精度 ≤±0.3μm
丝杠累积导程误差 ≤12μm/50mm
回程空回量 ≤1.0μm
内部背隙 ≤0.2μm
水平 / 垂直直线度 ≤1.5μm/50mm
XY 轴正交度 ≤5μm/50mm
力矩刚性 0.13 arcsec/N·cm
电气配套规格

驱动电机:标配五相步进电机,电机轴径 Φ5mm,可选 A 型手摇手柄 限位基板:F-115(原点 + 正负极限光电传感器),反向型号配 F-115R 基板 连接器:广濑 RP13A-12JG-20PC 20 针接头

主要特点

搭载精密交叉滚子横辊导向结构,实现 X/Y 双轴同步精密平移,用于光路对准、芯片探针检测、激光微切割、显微样品载台进给; 交叉滚子导轨无间隙、高刚性,消除滚珠导轨间隙漂移问题,长期重复定位稳定; 滚珠丝杠传动搭配细分步进电机,微米级微调分辨率,适配实验室、无尘车间高精度自动化设备; 内置原点 + 极限光电传感器,支持自动回零、软限位 + 机械硬限位双重保护,防止超程损坏传动部件。


池田屋供应神津精机 SYA0750-R01 精密横辊导向器,搭载交叉滚柱导轨实现高刚性低损耗运动,亚微米级定位精度,适配晶圆检测、光纤耦合、光学对位设备 XY 轴精密位移支撑。

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