池田屋推出神津精机(KOHZU)品牌 SYA0750-R01 型精密横辊导向器。该产品为面向半导体光学精密定位控制系统 “精密位移测控平台” 的专用导向组件,采用交叉滚子横辊导向结构,支持步进电机闭环驱动,高刚性低误差且轻量化紧凑,适用于晶圆检测对位台、光纤耦合调整台等设备高精度位移运行的导向支撑作业。
基础机械规格
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参数项
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参数值
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产品型号
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SYA0750-R01(反向款:SYA0750-R01-RRR)
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导向结构
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精密交叉滚柱(横辊)导向器
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台面尺寸
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75mm×100mm
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XY 单轴行程
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±25mm
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传动结构
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滚珠丝杠,导程 1.0mm
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主体材质
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铝合金,白色硬质氧化处理
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整机自重
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1.9kg
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水平额定负载
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186N(19kgf)
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精度与运动性能
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参数项
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参数值
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整步 / 半步分辨率
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1μm / 0.5μm
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1/20 微步细分分辨率
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0.05μm
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*高运行速度
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10mm/s(半步模式 20kpps)
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重复定位精度
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≤±0.3μm
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丝杠累积导程误差
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≤12μm/50mm
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回程空回量
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≤1.0μm
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内部背隙
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≤0.2μm
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水平 / 垂直直线度
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≤1.5μm/50mm
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XY 轴正交度
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≤5μm/50mm
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力矩刚性
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0.13 arcsec/N·cm
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电气配套规格
驱动电机:标配五相步进电机,电机轴径 Φ5mm,可选 A 型手摇手柄
限位基板:F-115(原点 + 正负极限光电传感器),反向型号配 F-115R 基板
连接器:广濑 RP13A-12JG-20PC 20 针接头
主要特点
搭载精密交叉滚子横辊导向结构,实现 X/Y 双轴同步精密平移,用于光路对准、芯片探针检测、激光微切割、显微样品载台进给;
交叉滚子导轨无间隙、高刚性,消除滚珠导轨间隙漂移问题,长期重复定位稳定;
滚珠丝杠传动搭配细分步进电机,微米级微调分辨率,适配实验室、无尘车间高精度自动化设备;
内置原点 + 极限光电传感器,支持自动回零、软限位 + 机械硬限位双重保护,防止超程损坏传动部件。
池田屋供应神津精机 SYA0750-R01 精密横辊导向器,搭载交叉滚柱导轨实现高刚性低损耗运动,亚微米级定位精度,适配晶圆检测、光纤耦合、光学对位设备 XY 轴精密位移支撑。