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今日分享KAKUHUNTER写真化学反射式膜厚监测仪

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反射式膜厚监测仪是一种反射分光式膜厚计,采用小型反射探头并采用光学干涉测量法,可应用于从实验室水平到生产过程中在线100%检查的所有情况。它具有出色的可维护性,可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

*多可同时测量 9 种透明薄膜。

它具有出色的可维护性,可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

例如,它可以用作成膜、抛光和蚀刻过程中的在线监控器或终点监控器(终点检测传感器),并可以实时监控膜厚。它

还可用于评价多晶硅的结晶度和多孔薄膜的密度。

  • 我想轻松测量透明多层薄膜每一层的厚度。

  • 我想自动测量多个点的薄膜厚度。

  • 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

  • 我想测量半透明板的厚度。




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