特征

红外透射膜厚监测仪可测量电池隔膜等半透明片材、黑色抗蚀剂等低反射膜、硅片等的厚度。这是一款红外吸收式薄膜测厚仪，可用于从实验室水平到生产过程中100%在线检测的所有情况。
这是一种红外薄膜测厚仪，采用由紧凑型镜面探头组成的透射光学系统，可通过 100 多个波长的光谱同时**测量薄膜厚度、密度和成分等多个参数。

1. 
   

• 1

• 测量半透明片、低反射膜、硅等
  的厚度，这是使用光学干涉测量法难以做到的。

2. 
   

• 2

• 小型光纤探头

  通过使用小型30mm反射探头，
  可以安装在设备或生产线内的狭小空间内。另外，探头
  与主体仅通过光纤
  连接，因此具有优异的耐环境性。

3. 
   

• 3

• 高速测量100多个点同时采样
  950至1650 nm的近红外波长
  

  可以实现短至 1 毫秒的高速采样。
  可在生产线上进行实时检测和测量。
  由于不会旋转干涉滤光片等，因此具有出色的耐用性和可靠性。

4. 
   

• 4

• 厚度测量重复性0.1%以下（3σ）

5. 
   

• 5

• 两种可选的测量算法

  测量算法	校准样品	测量目标
  兰伯特-比尔法	1 种	仅厚度
  *小二乘回归法	2种以上	多重（厚度、密度、特定成分的混合量等）

测量示例（锂离子电池隔膜）

测量示例（硅基板上的黑色抗蚀剂膜厚）

作品