池田屋推出KOFLOC小岛全金属数字质量流量控制器EX‑550C
池田屋推出KOFLOC小岛全金属数字质量流量控制器EX‑550C
新品发布KOFLOC小岛全金属数字质量流量控制器EX‑550C
近期我司推出KOFLOC小岛全金属数字质量流量控制器EX‑550C
日本KOFLOC小岛推出EX‑550C全金属数字质量流量控制器，面向高纯、腐蚀性气体工况，为半导体、科研分析、薄膜工艺等行业提供稳定可靠的气体流量管控方案科。
EX‑550C属于EX‑550系列数字MFC，采用全金属密封结构，气体接触部件为 SUS316L 不锈钢，氦泄漏率可达1×10⁻¹¹Pa・m³/s 以下，规避橡胶密封件带来的析出污染，适配高纯特种气体、部分腐蚀性气体工况科。设备搭载自研热绕组式传感器，零点稳定性优异，流量控制响应可在 1 秒以内完成，实现快速闭环调节，控制精度可达±1.0% SP，重复性±0.2% FS，小流量区间控制表现突出科。
产品量程覆盖10SCCM‑5SLM，分为低压差 L、高压差 H 两种阀体版本，可匹配不同供气压力条件；内置常闭比例电磁阀，断电自动关闭气路，提升系统**防护能力。通讯配置上标配 RS485 数字通讯，同时兼容0‑5V、4‑20mA模拟量输入输出，支持拨码开关快速设置地址与切换气体类型，适配PLC、工控系统组网集成，电气接口采用SEMI标准D‑SUB9针，便于设备改造与产线替换。供电支持±15V双电源或24V单电源，满足多样化设备供电环境，整机重量约 800g，安装灵活，兼容标准106mm安装面，可选用124mm规格科。
该机型广泛应用于半导体薄膜沉积、科研配气、分析仪器、材料实验等场景，兼顾高精度、高气密性与易用性。在对气体洁净度要求严苛的工艺当中，EX‑550C能够稳定管控氮气、氩气、氢气、氧气、二氧化碳等多种工艺气体，帮助客户提升气体配比稳定性，保障工艺一致性。