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原装精品OSAKA VACUUM大阪真空干式真空泵
产品型号:ER100D/ER100DC
产品简介:

ER100D/ER100DC 为节能多级根型干式真空泵,整机紧凑轻量化,水冷式结构,抽速 1670L/min,极限真空 5Pa,整机 60 公斤。ER100D 适配轻载洁净排气,ER100DC 采用耐腐材质可处理腐蚀性废气,三相 200-220V 供电,适合高真空辅助抽气、镀膜、分析仪器排气等场景。

详细介绍

池田屋现货 OSAKA VACUUM 大阪真空 ER100D/ER100DC 干式真空泵


池田屋现货 OSAKA VACUUM 大阪真空 ER100D/ER100DC 干式真空泵






ER100D/ER100DC 是多级根型干式真空泵,在同类型干式泵中拥有出色的能效表现,机身紧凑小巧,安装面积仅 0.11㎡,整机重量 60 公斤,便于产线布局安装。两款机型针对不同工况差异化设计:ER100D 面向轻载、洁净工艺排气;ER100DC 选用高耐蚀材料,可应对腐蚀性工艺废气,满足化工、半导体不同排气需求。压力稳定时功耗仅 400W,节能优势突出。




核心性能参数:进气口 KF50,排气口 KF25;排气速度 1670L/min,测试到达压力 5Pa。供电为三相 200-220V,50/60Hz,功率容量 3200VA,压力稳定工况功耗 400W。冷却方式为水冷,冷却水流量 1.5–3.0L/min,冷却水可到高温度 30℃;净化气体流量 17–20 Pa・m³/s。




该泵可输出洁净排气,常作为高真空分子泵 TMP 的前级辅助泵,应用于溅射设备粗化、锁腔与输送机房排气、小型实验装置抽气、吸附输送系统、分析测量设备废气抽取、小型炉排气、电子枪及离子检测排气等。无油干式结构,不会带来油蒸汽污染,保障腔体洁净,适合精密真空工艺。



选型使用提示:需根据实际废气组分选择机型,腐蚀性气体工况选用 ER100DC;气体种类会影响部件寿命,若需兼容特殊油气,需要提前与厂商评估。整机支持 2D、3D CAD 图纸下载,方便设备集成与产线方案设计。



池田屋原装现货充足、供货稳定,有选型适配、批量采购需求,欢迎各界客户咨询洽谈。

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