池田屋现货 OSAKA VACUUM 大阪真空 ER100D/ER100DC 干式真空泵
ER100D/ER100DC 是多级根型干式真空泵,在同类型干式泵中拥有出色的能效表现,机身紧凑小巧,安装面积仅 0.11㎡,整机重量 60 公斤,便于产线布局安装。两款机型针对不同工况差异化设计:ER100D 面向轻载、洁净工艺排气;ER100DC 选用高耐蚀材料,可应对腐蚀性工艺废气,满足化工、半导体不同排气需求。压力稳定时功耗仅 400W,节能优势突出。
核心性能参数:进气口 KF50,排气口 KF25;排气速度 1670L/min,测试到达压力 5Pa。供电为三相 200-220V,50/60Hz,功率容量 3200VA,压力稳定工况功耗 400W。冷却方式为水冷,冷却水流量 1.5–3.0L/min,冷却水可到高温度 30℃;净化气体流量 17–20 Pa・m³/s。
该泵可输出洁净排气,常作为高真空分子泵 TMP 的前级辅助泵,应用于溅射设备粗化、锁腔与输送机房排气、小型实验装置抽气、吸附输送系统、分析测量设备废气抽取、小型炉排气、电子枪及离子检测排气等。无油干式结构,不会带来油蒸汽污染,保障腔体洁净,适合精密真空工艺。
池田屋原装现货充足、供货稳定,有选型适配、批量采购需求,欢迎各界客户咨询洽谈。