池田屋现货 OSAKA VACUUM 大阪真空 DSP501 螺旋干式真空泵
DSP501 紧凑型螺旋干式真空泵,采用无齿轮正时结构,实现减重设计,整机紧凑便携,抗干扰能力强。设备标配燃气压载机构,采用风冷散热,无需配套冷却液,简化现场管路布置;无油结构无需润滑油,不存在油蒸汽与颗粒物回流,排出气体洁净,可保护精密工艺腔体不受油污污染。螺旋转子结构消除排气脉冲,运行低振动、低噪音,搭配外部隔音设计,整机功耗优于同类产品,符合 CE 全规范,在接近大气压环境下可实现高速抽气。
核心性能参数:进气口 KF40,排气口 KF25;无气体压载工况抽速 500L/min,含气体压载物时 430L/min;无负载极限真空 0.5Pa,带气体压载物条件下为 2Pa。整机重量约 21 公斤;供电为单相 AC100-230V(±10%),功率容量 660VA,到达压力功耗 270W,功耗可达 600W,适配实验室与工业通用供电。
出厂标配 AC100V 电源线、3 米长 D-sub15 针控制信号连接器、日文版说明书。可选配件包含 KF40 吸尘真空滤清器、AC200V 电源线、排气消音器、泵体固定支架,根据工况灵活拓展。
该真空泵适用场景广泛,可用于 SEM、光刻、医疗器械、输送排气、分析仪器、加速器离子源、通用工业、PVD 镀膜以及各类研发试验。在半导体镀膜、精密检测等对洁净度要求高的场景,无油排气能够避免样品与腔体污染。低振动特性,适合精密分析设备配套使用。
设备使用时需注意,粉尘工况建议进气口加装过滤器;吸入氢气、氧气等轻分子量气体或大量冷凝介质时,设备性能会受限,使用前需要评估工况条件。
池田屋原装现货充足、供货稳定,有选型适配、批量采购需求,欢迎各界客户咨询洽谈。