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池田屋直销TOFCO 中程药液控制器
产品型号:FLC4000R-G10(100~1000mL/min)
产品简介:

本款 G10 接口设备量程 100-1000mL/min,主打中等流量药液与纯水管控。采用超声波无损测量结构,气动精准调压,搭载分段 PID 控温算法,多信号传输兼容,适配半导体量产湿法制程流体输送。

详细介绍

池田屋现货 TOFCO东富科 中程药液控制器 FLC4000R-G10(100~1000mL/min)


池田屋现货 TOFCO东富科 中程药液控制器 FLC4000R-G10(100~1000mL/min)




FLC4000R-G10 千毫升级流量控制器,针对半导体量产型湿法设备优化设计,100-1000mL/min 的中流量区间适配绝大多数常规药液输送、清洗液配比工序。设备摒弃机械传感结构,利用超声波实时捕捉流体流量数据,测量过程无介质接触损耗,适配长期连续量产工况,有效降低设备运维频次。




内置定制化多分区 PID 控制程序,可根据实时流量区间自动适配调节参数,规避单一算法在宽量程区间的调控短板,3 秒内即可完成流量稳压调节,流量重复性优异,保障批量生产制程参数一致性。设备整体接液部件采用高纯 PFA、PTFE 材质,结构简洁死角少,便于管路流体置换,减少介质残留对制程的影响。


设备支持电流、电压多种模拟信号的输入与输出,信号适配灵活,可匹配新旧不同型号的自控系统,设备改造替换适配性强。自带双重超限报警与故障保护功能,可根据生产需求设置阀体故障锁定模式,规避异常工况导致的制程偏差。


设备气动供给压力适配常规车间气源标准,工况适配性广,运行噪音低,符合无尘车间生产规范。电气防护结构完善,温湿度耐受范围贴合工业生产环境,可长时间连续稳定运行。主要应用于半导体湿法清洗、表面处理、药液定量输送等中流量制程场景,为量产工序提供稳定可靠的流量闭环控制。

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