池田屋现货 TOFCO东富科 法兰接口中流量控制器 FLC-US40-G10F
FLC-US40-G10F 采用 G10F 法兰接口，适合对连接稳定性、管路集成度与维护便利性要求较高的中流量应用。产品把流量检测与控制阀门集成在同一主体中，减少外部连接点，使系统结构更紧凑，适合安装在半导体设备附近、清洗机支路或药液分配单元中。
该型号通过流量传感器实时检测流体状态，控制基板计算目标值与实测值之间的偏差，并驱动步进电机控制阀调整开度。步进电机能够提供精细的位置控制，配合超调抑制与积分预测功能，使设备在流量变化过程中更平稳，减少中流量工况下常见的波动与超调现象。
G10F 接口更适合中等流量管路中的稳定连接，法兰结构便于与洁净管路系统集成，也有利于现场拆装与维护。设备接液部分采用 PFA、PTFE 材质，可适配多种工艺药液与纯水，满足半导体制程对洁净度与介质兼容性的要求。
FLC-US40-G10F 支持 4-20mA 模拟信号输入与输出，并可配置串行通讯功能，便于接入自动化控制系统。本体 LED 可显示运行、零点调整、警告、故障、阀寿命预警等状态，使操作人员能够快速判断设备是否处于正常控制、校准或保护状态。
产品具备异常检测、故障处理与强制停止功能，在流量异常、压力不足、指令异常或内部故障时，可执行相应保护动作。设备适用于 15～50℃环境温度与 10～90℃流体温度，适合半导体湿法清洗、蚀刻药液供给、纯水循环、药液混合分配及其他中流量洁净流体闭环控制场景。