池田屋现货 TOFCO东富科 中流量一体化流量控制器 FLC-US40-G10
FLC-US40-G10 面向中等流量药液与纯水控制场景，采用 G10 接口，通流能力优于小口径型号，适合半导体设备中流量较大的清洗支路、药液供给管路与纯水循环回路。产品把流量检测与阀门控制集成在同一单元中，减少外部管路与安装空间，有助于提升系统响应速度与结构紧凑度。
设备工作时，流体先经过流量传感器，控制基板根据目标值与实测流量的偏差，驱动步进电机控制阀进行调节。步进电机可实现精细开度控制，配合超调抑制功能，减少阀门快速动作带来的流量冲击；积分预测功能则根据流量变化趋势提前调整控制量，使中流量工况下的控制更平稳。
该型号控制范围较宽，适合需要覆盖多种运行流量的制程设备。在有效控制区间内，流量精度与控制精度保持稳定，低流量段也有相应保证值，可兼顾小流量启动与中流量稳定运行。设备接液部分采用 PFA、PTFE 材质，对多种工艺药液与纯水具有较好适配性，适合洁净制程使用。
FLC-US40-G10 支持 4-20mA 模拟输入输出，并可配置串行通讯，能够与 PLC、工控机或专用设置工具连接，实现流量设定、监控、零点调整与状态读取。本体 LED 状态指示可区分正常运行、零点调整、警告、故障与阀寿命预警等信息，便于现场管理与维护。
产品带有异常检测、故障处理与强制停止功能，可在流量异常、压力不足、指令异常或内部故障时触发保护动作。设备环境温度适用范围为 15～50℃，流体温度适用范围为 10～90℃，适合半导体湿法清洗、蚀刻药液供给、纯水循环、药液混合与分配等中流量洁净流体控制场景。