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原厂现货TOFCO 小型流体控流设备
产品型号:FLC4000R-G10(50~500mL/min)
产品简介:

该型号采用 G10(3/8 英寸)管路接口,量程 50-500mL/min,适配纯水与化学药液测控。采用气动驱动搭配超声波检测结构,内置专用控制器,多信号兼容输出,运行稳定,适配半导体小型设备药液输送与配比工序。

详细介绍

池田屋现货 TOFCO东富科 小型流体控流设备 FLC4000R-G10(50~500mL/min)


池田屋现货 TOFCO东富科 小型流体控流设备 FLC4000R-G10(50~500mL/min)




FLC4000R-G10 适配中小流量基础制程工况,采用非接触式超声波流量检测方式,规避传统机械测量结构的卡顿、磨损问题,设备运行稳定性大幅提升,长期使用无需频繁维护校准。搭配气动隔膜控制阀,依托精准 PID 闭环算法,可快速修正管路流量偏差,响应时长不超过 3 秒,有效抑制流体输送波动。





设备测量精度为满量程 ±1.0%,指示流量相对误差控制在 ±2% 以内,重复性误差≤±0.5%,可满足常规精密药液配比、纯水输送的精度要求。全氟树脂接液材质,密封性与介质适配性良好,可适配多种湿法工艺流体,不易产生介质污染与材质损耗。


电气配置兼容多类型模拟信号,输入输出信号可按需选配,负载阻抗适配常规工控设备,可无缝对接 PLC、工控终端实现自动化流量设定与数据回传。设备集成故障检测、超限报警、零点复位等功能,可实时监测设备运行状态,异常工况可及时输出信号并执行阀体保护动作。


设备适配 15-40℃环境温度与 0-50℃介质温度,低噪运行设计,适配无尘车间生产标准。采用分体式电气与流体结构设计,电气模块与接液区域相互隔离,降低介质渗透、湿气对电路的影响,提升设备使用寿命,广泛应用于半导体小型清洗设备、精密药液供给、纯水循环管控等场景。

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