特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量原理
Smart膜厚仪采用反射分光法(光学干涉法)测量薄膜厚度。例如,在测量基底上的镀膜时，从样品上方入射的光会在薄膜表面发生反射(图中R1)。而穿透薄膜的光会在基底与薄膜的界面处发生反射(图中R2).通过测量由光程差异引起的相位偏移(相位差)所产生的光学干涉现象，可根据测得的反射光谱与折射率计算出薄膜厚度。
规格样式
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品名
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Pro
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Standard
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型号
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SM-110PO
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SM-110SO
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测量原理
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反射分光法（光学干涉法）
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测量膜厚范围
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0.1–100 μm (单层), 1–100 μm (多层)
当折射率为 1.6 时
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1–50 μm (单层)
当折射率为 1.6 时
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支持多层测量
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*多支持 3 层
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单层
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显示反射率 / 功率谱
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○
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－
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测量波长范围
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400 - 1000 nm
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测量重复性
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2.1σ < 0.01 μm (SiO2 1 μm)
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测量光斑直径
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Φ1 mm 及以下
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数据输出类型
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可导出为 CSV 文件并保存至 U 盘
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主机尺寸
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约 H54 × W138 × D198 mm (含突出部分)
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主机重量
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约 1.1 kg
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