详细介绍
日本Otsuka大塚电子显微分光膜厚仪
量测项目
● **反射率分析
● 多层膜解析（50层）
● 光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可不受其影响，单独测量上面的膜。
应用范围
● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料：滤光片、抗反射膜
● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等
原装全新！Otsuka大塚电子显微分光膜厚仪
规格式样
（自动XY平台型）
OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波长范围 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范围 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
测定时间 1秒 / 1点以内
光径大小 10μm (*小约3μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源规格 氘灯 卤素灯 卤素灯
尺寸 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分)
重量 66kg（自动XY平台型的主体部分）