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原装IKC入江工研 焊接真空波纹管
产品型号:NA1036-1
产品简介:

入江工研(IKC,Irie Koken)是日本深耕超高真空领域的老牌厂商,核心技术为精密超薄焊接金属波纹管成型工艺,依托波纹管密封技术延伸出真空阀门、真空直线导入器、真空柔性管路、定制真空腔体、小型离子泵五大产品线

详细介绍


日本IKC入江工研 不锈钢金属波纹管

    入江工研(IKC,Irie Koken)是日本深耕超高真空领域的老牌厂商,核心技术为精密超薄焊接金属波纹管成型工艺,依托波纹管密封技术延伸出真空阀门、真空直线导入器、真空柔性管路、定制真空腔体、小型离子泵五大产品线,核心优势为超高气密(漏率≤1×10⁻⁷Pa・m³/s)、无粉尘洁净结构、250℃高温烘烤耐受、百万次疲劳伸缩寿命,是日系半导体镀膜、科研分析仪器、精密真空装备的原厂核心配套零部件。


主力产品线 + 代表型号 + 产品用途

(一)金属波纹管(品牌基石产品,分为成型波纹管、焊接波纹管两大品类)

  1. CF 法兰成型波纹管(VF 系列)
    代表型号:VF2034(CF34)、VF2070(CF70)、VF2114(CF114)、CF2152(CF152)
    用途:超高真空腔体管路柔性连接,补偿设备热胀冷缩形变、设备震动应力,隔绝真空泵震动传导至工艺腔体;可耐受 250℃整体烘烤,适配超高真空腔体除气作业,法兰为标准 CF 刀口密封,适配科研腔体、半导体高真空管路。
  2. 精密焊接波纹管(NCE 系列)
    代表型号:NCE270、NCE2114
    用途:超薄多层焊接结构,伸缩行程更大、疲劳寿命更强,用于真空阀门内部密封核心件、直线导入器动密封、离子泵腔体密封,是 IKC 真空阀、动密封组件的核心内部元件。
  3. KF 标准柔性波纹管(VF1000 系列)
    代表型号:VF1010(KF16/KF25/KF40/KF50)
    用途:低、中真空管路减震、位移补偿,适配普通镀膜机、检漏仪前级管路,性价比量产款。

(二)真空阀门系列

  1. KS-I 系列矩形真空闸阀
    代表型号:KS-I-6、KS-I-10(对应开口 100×200mm~1500mm 大尺寸定制)
    分类:单面密封、双面密封两种结构
    用途:半导体腔体主隔断阀、Loadlock 锁腔阀、面板蒸镀腔体隔离阀;双面密封款用于频繁大气 - 超高真空切换腔体,减少腔体泄压时长,阀板无摩擦启闭,无颗粒脱落污染晶圆。
  2. Marina 圆形摆臂真空阀
    适配搭配 NCE2114 波纹管密封,DN65/DN80 口径,用于镀膜机泵组隔断、腔体旁路真空隔离。
  3. FLV 高真空角阀(1FLV 系列)
    代表型号:1FLV-16M0 (KF16)、1FLV-40M0 (KF40)、2FLV-70M0 (CF70)
    用途:真空泵前级阀、管路旁路截止阀、真空腔体放气阀,气动 / 手动可选,紧凑型结构适配狭小设备空间。

(三)真空直线 / 旋转导入器(磁耦合式 MFL 系列)

代表型号:MFL-114-1000(行程 1000mm,轴径 φ19mm)
用途:无贯穿轴动密封,依靠磁耦合传动,外部电机动作不破坏腔体真空度,用于超高真空内部样品平移、旋转、探针调节,杜绝传统轴封的漏气、润滑油污染问题,适配电镜、表面分析设备样品台传动。

(四)NEGLAZE 小型离子泵

型号:ICF203 零长度型离子泵
用途:紧凑型无油超高真空获得设备,用于小型样品储存腔体、分析仪器维持超高真空,无振动、无油气污染,适配精密检测仪器。

(五)定制类产品

异形波纹管、轨道交通变压器膨胀补偿器、超导设备低温密封组件、整体焊接真空腔体,根据设备工况定制结构尺寸。
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