主力产品线、代表型号与产品核心用途

（一）精密光学元件（核心光学器件）

激光反射镜系列

• TFMHP 系列高功率电介质反射镜：代表型号 TFMHP-25.4C05-193（193nm 准分子激光专用）、TFMS-25.4C05（可见光宽带反射镜）

  用途：高功率光纤激光、准分子激光光路转折，多层介质膜实现＞95% 高反射率，抗激光损伤阈值高，避免镜面烧蚀；193nm 型号适配 ArF 光刻光路反射。

• TFG/TFGS 金膜红外反射镜：适配 1–10μm 红外光路，红外光谱仪、CO₂激光光路转折。

• OPSQ/OFB 光学基板：超光滑基材（Ra＜0.2nm），用于定制反射镜、分光镜基底，低杂散光，适配精密干涉系统。

显微激光物镜系列

• PAL 系列（PAL-NIR/PAL-NUV）：PAL-20-NIR-HR-LC00 近红外物镜、PAL-20-NUV 紫外物镜

  用途：红外 / 紫外激光聚焦，带盖板玻璃像差补偿，晶圆微孔加工、芯片缺陷激光修复、近红外显微成像。

• HPOBL 高功率激光物镜：45mm 齐焦距离，高耐热镜片，光纤激光切割、金属打标聚焦。

• PFL-UV-AG 紫外消色差物镜：深紫外波段校正色差，PCB 紫外钻孔、玻璃激光刻蚀。

偏振与分光元件

SPF 系列薄膜偏振片（SPF-30C-32 可见光款、NSPFU 紫外偏振片），用于光路光强调节、偏振干涉实验、激光偏振整形。

（二）精密位移平台（手动 + 电动，光机调整核心）

• HPS-X 滚珠丝杠电动平台：HPS60-20X-M5、HPS80-50X-M5，步进电机驱动，承载 5–10kg，自动化光路扫描、晶圆 XY 平台定位。

• GSC 升降台（GSC-02ABN）：Z 轴垂直精密升降，显微镜对焦、激光聚焦高度动态调节。

（三）光学支架、底座与隔振平台

• 标准镜架、万向调整镜座：用于透镜、反射镜三轴姿态微调，光路搭建模块化固定；

• OSDVID 隔振工作台：气浮 / 刚性隔振台，隔绝地面震动，保障干涉仪、共聚焦显微镜光路稳定。

（四）特种光学系统整机