日本到货MIYUKI美幸辉L型气动真空阀 AEH-N16 池田屋实业（深圳）有限公司

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日本到货MIYUKI美幸辉L型气动真空阀

产品型号：AEH-N16

产品简介：

MIYUKI 美幸辉 1967 年创立的日本老牌精密真空流体企业，主打全系列高洁净真空阀门、真空压力控制系统研发生产，以真空密封、洁净流体控制、精密开度调节三大核心技术，为科研实验室工业真空产线提供整套真空管路控制解决方案。

详细介绍

MIYUKI美幸辉L型气动真空阀AEH-N16

AEH-N25 属于 AEH 系列三段限位 L 型真空角阀，采用 NW25（KF25）ISO-KF 快拆法兰，搭载双作用气动气缸，具备全关、中间节流、全开三段机械定位功能。阀体采用 90° 角式流道设计，阀杆选用 FKM 氟橡胶 O 型圈动密封结构，整机布局紧凑，可直接装配在真空腔体侧壁，简化设备管路布局。阀门支持选配磁感应感应开关，输出三段阀位信号对接自动化控制系统；产品在洁净环境完成装配检漏，密封性能稳定，适配常压至 1×10⁻⁵Pa 中真空工况，适配多个制造行业中小型真空腔体分段抽气、缓破空工艺场景。

半导体行业多用于晶圆检测腔体、中小型等离子清洗设备，用作预抽管路与破空管路控制阀。依靠中间节流档位实现缓慢预抽与腔体平缓泄压，避免快速气流冲击造成样品损伤。相较于两档位 AE-N25，AEH-N25 集成流量调节功能，可省去旁路微调阀，减少管路接头，降低系统泄漏点位。该型号采用经济型 O 圈密封结构，适合对洁净等级无过高要求、追求设备综合成本优化的自动化真空设备。对比小口径 AEH-N16，通流能力更大，适配容积更大的工艺腔体。

光学镀膜行业适配中小型光学蒸镀、UV 真空固化设备，用于样品预处理腔体气流管控。腔体泄压阶段使用节流档位缓慢进气，能够有效防护薄膜涂层；KF 快拆法兰搭配卡箍连接，拆装便捷，便于现场开展维护作业。

锂电与真空检测行业，配套中型氦质谱检漏工装、真空脱泡设备支管控制，稳定的密封性能维持真空系统基础真空水平。科研与高校实验室常选用该型号搭建管式炉、真空材料测试平台，实现腔体分段抽真空、压力平缓调节。

阀座采用均衡压紧密封结构，FKM 密封件耐受水汽与常规有机挥发气体；阀门启闭循环次数充足，长期重复运行工况下密封状态保持稳定。设备安装角度不受限制，能够结合腔体结构灵活布置管路。

同系列拥有 AEH-N16、AEH-N40 多款口径规格，可按照管路流量需求灵活选型。作为具备节流功能的紧凑型角式真空切断元件，AEH-N25 集成切断与流量调节能力，是镀膜设备、真空检测仪器、实验室中小型真空腔体常用真空阀门方案。