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MIYUKI美幸辉
全新现货MIYUKI美幸辉气动真空阀
产品型号:AB-N40
产品简介:
MIYUKI 美幸辉 1967 年创立的日本老牌精密真空流体企业,主打全系列高洁净真空阀门、真空压力控制系统研发生产,以真空密封、洁净流体控制、精密开度调节三大核心技术,为科研实验室工业真空产线提供整套真空管路控制解决方案。
详细介绍
MIYUKI美幸辉气动真空阀AB-N40
半导体行业多用于等离子清洗设备、晶圆检测腔体,作为腔体预抽管路、分子泵前端隔离阀。气源中断时,阀门依靠弹簧自动闭合,阻挡大气倒灌进入真空腔体,降低真空规、晶圆样品氧化污染风险。相较于小口径 AB-N25,AB-N40 通流能力更大,有助于缩短腔体抽真空时长,适配容积更大的工艺腔体。对比 O 型圈密封 AE 系列,波纹管结构不易析出污染物,更加适合洁净工艺场景。
光学镀膜行业适配中小型磁控溅射、光学蒸镀、真空固化设备,用作腔体主抽管路、蒸发源辅助管路通断控制。设备检修阶段可以隔离局部管路,无需整套真空系统泄压,提升设备运转效率;KF 快拆法兰搭配卡箍连接,拆装便捷,便于现场开展维护作业。
锂电与真空检测行业,配套中型氦质谱检漏工装、真空脱泡、真空热处理设备主管路控制,稳定的密封性能维持真空系统基础真空水平。科研与高校实验室常选用该型号搭建管式炉、真空材料测试平台,用作真空监测管路、样品处理腔体切断阀门。
阀座采用均衡压紧密封结构,标配 FKM 氟橡胶密封件;波纹管实现无摩擦动密封,减少粉尘生成,适配洁净制程。安装角度不受限制,能够结合腔体结构灵活调整管路走向。
同系列拥有 AB-N16、AB-N25 多款口径规格,可按照管路尺寸、洁净等级灵活选型。作为进口波纹管密封角式真空切断元件,AB-N40 兼顾大通流与洁净特性,是镀膜设备、半导体真空设备、实验室真空系统中型腔体配套常用真空阀门方案。