日本MIYUKI美幸辉 气动直通真空闸
日本MIYUKI美幸辉 气动直通真空闸

    SE-N16 属于 SE 系列气动直通真空阀，适配 NW16（KF16）快拆法兰，采用单作用弹簧常闭驱动结构，通气开启、断气自动闭合。阀体采用轻量化 A5056 铝合金一体加工，直通式直线流道设计，流体通过阻力较小；整体为圆柱一体化结构，无向外凸起的执行部件，轴向尺寸紧凑，适合狭小设备内部管路布置。原厂在洁净环境完成装配调试，密封性能稳定，支持选配阀位感应开关，向外传输阀门开闭信号，便于对接自动化控制系统，广泛适配多个制造行业小型真空支路通断工况。
    半导体行业多用于真空计采样支管、工艺腔体小型旁路、分子泵前端微管路隔离。气源中断时阀门自动关闭，阻挡大气倒灌进入真空腔体，降低真空规、薄膜样品氧化受损风险；小巧体积便于集成在真空设备腔体侧面，适配晶圆检测平台、小型等离子清洗设备配套管路。
    光学镀膜行业适配小型蒸发源旁通管路、样品预处理真空腔体支路控制，在设备维护流程中隔离局部管路，缩短腔体重复抽真空时长。对比 L 型角阀，直通布局沿管路轴向安装，不占用横向空间，适合多阀密集并排布置。
    锂电与真空检测行业，用于氦检设备采样管路、小型真空烘烤设备支管通断，稳定密封保障系统基础真空水平。科研高校实验室大量选用该型号搭建管式炉、真空测试平台，作为样品充气、真空监测支路控制阀门。第三方真空工艺研发平台也常使用该阀搭建小型实验管路。
    阀座采用均衡压紧密封结构，标配 FKM 氟橡胶密封圈，可根据工艺气体工况调整密封材质；阀门启闭循环寿命充足，长期重复运行工况下密封维持稳定。KF 快拆法兰搭配卡箍安装，拆装便捷，方便现场维护。
    相较于大口径真空阀门，SE-N16 体积轻便，适合分支管路控制，不承担主抽气大流量通路；同系列拥有 NW25/NW40/NW50 多种口径规格，可按照管路尺寸灵活选型。作为进口小型直通真空切断部件，SE-N16 结构精简、安装灵活，是镀膜设备、真空检测仪器、实验室真空系统微小支路通断常用真空阀门方案。