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现货MIYUKI美幸辉 大口径高真空闸
产品型号:GR-C100
产品简介:

产品具备超低泄漏、低发尘、高精度开度调节、长期真空稳定特性,自有真空密封检测实验室完成全品泄漏校验;洁净款镜面抛光阀体无油脂析出、无微粒污染,超高真空兼容型号可直接用于真空腔体,结构紧凑易拆装维护,支持非标口径、法兰、开度行程定制。

详细介绍

日本现货MIYUKI美幸辉 大口径高真空闸 GR-C100 

GR-C100 是日本美幸辉 (MIYUKI) 公司 GR 系列中的一款 DN100 气动高真空闸阀。它采用气动驱动,专为要求高真空密封性与洁净度的自动化应用而设计。

核心技术规格

参数项目 规格指标
品牌与系列 日本 美幸辉 (MIYUKI),GR 系列
型号 GR-C100
公称通径 DN100 (100mm)
驱动方式 气动(压缩空气)
法兰连接 兼容 JIS、ISO、CF、KF 等标准
压力范围 大气压 ~ 1×10⁻⁶ Pa (高真空)
泄漏率 (阀座) ≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
泄漏率 (阀体) ≤ 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s
阀体材质 不锈钢 SUS304(真空钎焊)
密封件材质 标配 氟橡胶 (FKM),可选 Kalrez 全氟醚
耐温范围 -30℃ ~ 150℃(适配腔体烘烤除气)
安装方向 任意角度
开度指示 带微动开关,用于检测全开和全关位置

核心特点

  • 紧凑化设计:执行器的放置位置经过优化,旨在缩短阀门的外部轮廓尺寸,使其能更好地适配空间有限的真空系统

  • 优异的抗反压密封性能:阀体密封机构采用均匀分布的压球方式,在反向压力下也能保持高可靠性,确保真空系统的稳定

  • 低释气、高洁净:不锈钢外壳采用真空钎焊工艺,消除了内表面的死角,有效减少了气体释放(脱气)。产品在无尘室中完成组装和检查

  • 可靠的驱动与缓冲:气缸设计巧妙,关闭时推力加倍以确保密封牢固,同时在行程末端形成气垫效果以起到减震作用

  • 安装灵活:支持任意角度安装,可适应多样化的紧凑管路布局

应用场景

  • 半导体制造:刻蚀、沉积(PVD/CVD)等工艺设备的真空管路自动控制。

  • 光学镀膜:真空镀膜设备的气动阀门。

  • 科研与航天:高真空实验装置的自动化操作。



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